C2F4 ガスを含む混合ガス中の電子輸送特性

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Permalink : http://hdl.handle.net/10258/00009496

File / Name	License
JSAP(64)_17p_313_15
JSAP(64)_17p_313_15 (364.98KB) [ 53 downloads ]

アイテムタイプ	会議発表論文 / Conference Paper
言語	日本語
キーワード	C2F4 ガス, 電子輸送特性
著者	川口悟髙橋一弘佐藤孝紀 ( 研究者リゾルバーID: 1000050235339 ) 伊藤秀範
著者（別表記）	KAWAGUCHI Satoru TAKAHASHI Kazuhiro SATOH Kohki ITOH Hidenori ( 研究者リゾルバーID: 1000070136282 )
室蘭工業大学研究者データベースへのリンク	髙橋一弘（TAKAHASHI Kazuhiro）佐藤孝紀（SATOH Kohki）
雑誌名	第64回応用物理学会春季学術講演会　講演予稿集
巻	17ｐ
号	313
ページ	15 - 15
発行年	2017-03
出版者	公益社団法人　応用物理学会
日本十進分類法	428.4
権利	© 2017 応用物理学会
著者版フラグ	publisher
フォーマット	application/pdf

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