@inproceedings{weko_7101_1,
   author	 = "矢野, 龍人 and 青柳, 学 and 田村, 英樹 and 高野, 剛浩",
   title	 = "アレイ型ステータ振動子を用いた浮揚物体の移送制御（第1報）移送と位置決めの実験的検討",
   booktitle	 = "精密工学会大会学術講演会講演論文集",
   year 	 = "2011",
   volume	 = "2011",
   number	 = "1",
   pages	 = "933--934",
   publisher	 = "精密工学会"
}