@inproceedings{weko_7101_1, author = "矢野, 龍人 and 青柳, 学 and 田村, 英樹 and 高野, 剛浩", title = "アレイ型ステータ振動子を用いた浮揚物体の移送制御(第1報)移送と位置決めの実験的検討", booktitle = "精密工学会大会学術講演会講演論文集", year = "2011", volume = "2011", number = "1", pages = "933--934", publisher = "精密工学会" }