@article{weko_9103_1,
   author	 = "植杉,克弘 and 小川,健吾 and 福田,永",
   title	 = "次世代表面弾性波デバイス製造に向けた微細加工技術に関する研究",
   journal	 = "室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告",
   year 	 = "2010",
   volume	 = "21",
   number	 = "",
   pages	 = "21--23",
   month	 = "dec"
}