@article{oai:muroran-it.repo.nii.ac.jp:00005156,
 author = {福田,  永 and FUKUDA, Hisashi},
 journal = {サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報},
 month = {},
 note = {application/pdf},
 pages = {74--75},
 title = {中性原子発生装置を搭載した次世代半導体プロセス装置の開発},
 volume = {4},
 year = {2002},
 yomi = {フクダ, ヒサシ}
}