@article{oai:muroran-it.repo.nii.ac.jp:00007794, author = {森, 真人 and MORI, Masato and 金山, 昭佳 and KANAYAMA, Akiyoshi and 南條, 淳二 and NANJO, Junji and 野村, 滋 and NOMURA, Shigeru and 原, 進一 and HARA, Shin-ichi}, issue = {3}, journal = {室蘭工業大学研究報告. 理工編, Memoirs of the Muroran Institute of Technology. Science and engineering}, month = {Jan}, note = {application/pdf}, pages = {813--822}, title = {He-Neレーザー・エリプソメーターの試作とそのシリコン上薄膜の測定への応用}, volume = {8}, year = {1976}, yomi = {モリ, マサト and カナヤマ, アキヨシ and ナンジョウ, ジュンジ and ノムラ, シゲル and ハラ, シンイチ} }