@inproceedings{oai:muroran-it.repo.nii.ac.jp:00008906,
 author = {船柳, 謙太 and FUNAYANAGI, Kenta and 松田,  瑞史 and MATSUDA, Mizushi},
 book = {応用物理学会北海道支部・日本光学会北海道地区合同学術講演会講演予稿集},
 month = {Jan},
 note = {application/pdf},
 pages = {13--13},
 publisher = {応用物理学会北海道支部},
 title = {イオンミリング法を用いたMgOステップ基板の作製に関する研究},
 volume = {51/12},
 year = {2016},
 yomi = {マツダ, ミズシ}
}