@article{oai:muroran-it.repo.nii.ac.jp:00009103,
 author = {植杉, 克弘 and UESUGI, Katsuhiro and 小川, 健吾 and OGAWA, Kengo and 福田,  永 and FUKUDA, Hisashi},
 journal = {室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告},
 month = {Dec},
 note = {application/pdf, 平成21年度 プレ共同研究成果},
 pages = {21--23},
 title = {次世代表面弾性波デバイス製造に向けた微細加工技術に関する研究},
 volume = {21},
 year = {2010},
 yomi = {ウエスギ, カツヒロ and オガワ, ケンゴ and フクダ, ヒサシ}
}