@article{oai:muroran-it.repo.nii.ac.jp:00009121,
 author = {福田,  永 and FUKUDA, Hisashi and 平尾, 孝 and HIRAO, Takashi and 佐藤,  孝紀 and SATOH, Kohki and 植杉, 克弘 and UESUGI, Katsuhiro},
 journal = {室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告},
 month = {Dec},
 note = {application/pdf, 平成20年度共同研究プロジェクト成果},
 pages = {6--10},
 title = {高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究},
 volume = {20},
 year = {2009},
 yomi = {フクダ, ヒサシ and ヒラオ, タカシ and サトウ, コウキ and ウエスギ, カツヒロ}
}