@article{oai:muroran-it.repo.nii.ac.jp:00009124,
 author = {植杉, 克弘 and UESUGI, Katsuhiro and 古川, 雅一 and FURUKAWA, Masakazu and 鈴木, 摂 and SUZUKI, Setsu},
 journal = {室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告},
 month = {Nov},
 note = {application/pdf, 平成18年度プレ共同研究成果報告},
 pages = {43--44},
 title = {ZnO透明導電膜の低温成膜プロセス技術の開発},
 volume = {18},
 year = {2007},
 yomi = {ウエスギ, カツヒロ and フルカワ, マサカズ and スズキ, セツ}
}