WEKO3
アイテム
スパッタ装置の取り扱いに関する研修
http://hdl.handle.net/10258/00010824
http://hdl.handle.net/10258/00010824e7e19cf3-62a6-4f76-b5a0-830d4eecf5a0
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||||
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公開日 | 2022-06-13 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | スパッタ装置の取り扱いに関する研修 | |||||||
言語 | ja | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||||
資源タイプ | research report | |||||||
著者 |
曽根, 宏靖
× 曽根, 宏靖
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書誌情報 |
ja : 技術部報告集 巻 4, p. 87-90, 発行日 1997 |
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出版者 | ||||||||
出版者 | 室蘭工業大学 | |||||||
書誌レコードID | ||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
収録物識別子 | AA11958337 | |||||||
著者版フラグ | ||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
フォーマット | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | application/pdf |