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スパッタ装置の取り扱いに関する研修
http://hdl.handle.net/10258/00010824
http://hdl.handle.net/10258/00010824e7e19cf3-62a6-4f76-b5a0-830d4eecf5a0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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4-087 (329.0 kB)
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| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||||
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| 公開日 | 2022-06-13 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | スパッタ装置の取り扱いに関する研修 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||||
| 資源タイプ | research report | |||||||
| 著者 |
曽根, 宏靖
× 曽根, 宏靖
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| 書誌情報 |
ja : 技術部報告集 巻 4, p. 87-90, 発行日 1997 |
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| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 室蘭工業大学 | |||||||
| 書誌レコードID | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
| 収録物識別子 | AA11958337 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| フォーマット | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||
