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  1. 研究者名(五十音順)
  2. 佐藤 孝紀(SATOH Kohki)
  1. 学術雑誌論文

窒素RFプラズマの発光分光診断

http://hdl.handle.net/10258/1575
http://hdl.handle.net/10258/1575
2dbf54f6-3527-4876-852d-53f6465421dd
名前 / ファイル ライセンス アクション
trieejA121_465_2001.pdf trieejA121_465_2001.pdf (1.9 MB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article.(1)
公開日 2012-08-28
書誌情報 ja : 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌

巻 121, 号 5, p. 465-470, 発行日 2001
タイトル
タイトル 窒素RFプラズマの発光分光診断
言語 ja
タイトル
タイトル Optical Emission Spectroscopic Diagnostics in Nitrogen RF Discharges
言語 en
言語
言語 jpn
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 発光分光診断
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 RFプラズマ
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 正イオン
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 二次電子
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 ダブルレイヤー
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 電離
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 励起
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
著者 伊藤, 秀範

× 伊藤, 秀範

ja 伊藤, 秀範

en ITOH, Hidenori

ja-Kana イトウ, ヒデノリ


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西山, 伸泰

× 西山, 伸泰

ja 西山, 伸泰

en NISHIYAMA, Nobuyasu

ja-Kana ニシヤマ, ノブヤス


Search repository
佐藤, 孝紀

× 佐藤, 孝紀

ja 佐藤, 孝紀

ja-Kana サトウ, コウキ

en SATOH, Kohki


Search repository
中尾, 好隆

× 中尾, 好隆

ja 中尾, 好隆

en NAKAO, Yoshitaka

ja-Kana ナカオ, ヨシタカ


Search repository
田頭, 博昭

× 田頭, 博昭

ja 田頭, 博昭

en TAGASHIRA, Hiroaki

ja-Kana タガシラ, ヒロアキ


Search repository
室蘭工業大学研究者データベースへのリンク
表示名 佐藤 孝紀(SATOH Kohki)
URL http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_ja.html
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 The characteristics of RF plasmas as a function of driving frequency f, 0.1-13.56MHz in nitrogen has been observed by optical emission spectroscopic method. The space- and time-resolved profiles of the net excitation rate of molecules and ions have been deduced from spatiotemporally resolved optical emission profiles of their species, i.e. the second positive and the first negative bands. It is found that ionizations due to the secondary electrons from the electrodes by positive ions play an important part in the maintaining mechanism at low frequency as f < 1.5MHz, while a discharge is maintained by bulk ionizations at high frequency as f > 10MHz. The results also show that a discharge at middle frequency as 1.5 < f < 10MHz, is explained from the point of view of the transition of the mechanism which maintains a discharge. It is also shown that the excitation profiles exhibit double layers near the electrodes in nitrogen at 13.56MHz, 60W and the gas pressure p, p > 67Pa.
言語 en
出版者
出版者 電気学会
言語 ja
論文ID(NAID)
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ NAID
関連識別子 120004681109
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 427
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 03854205
ISSN
収録物識別子タイプ EISSN
収録物識別子 13475533
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN10136312
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA12116187
権利
言語 ja
権利情報 Copyright 2001 電気学会 ダウンロードを含むこの著作物の利用は、著作権法の私的使用及び引用の範囲に限り認められます。その範囲外の利用については、電気学会 の承諾が必要です。
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
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Ver.1 2023-06-19 12:13:45.209641
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