WEKO3
アイテム
中性原子発生装置を搭載した次世代半導体プロセス装置の開発
http://hdl.handle.net/10258/411
http://hdl.handle.net/10258/411e7ac1e68-fa23-49d6-9b8d-dd5383a53ba1
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
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公開日 | 2008-03-24 | |||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||
タイトル | 中性原子発生装置を搭載した次世代半導体プロセス装置の開発 | |||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||
言語 | ||||||||||||||
言語 | jpn | |||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
アクセス権 | ||||||||||||||
アクセス権 | open access | |||||||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||
著者 |
福田, 永
× 福田, 永
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室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||
福田 永(FUKUDA Hisashi) | ||||||||||||||
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_ja.html | ||||||||||||||
書誌情報 |
ja : サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報 巻 4, p. 74-75, 発行日 2002 |
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出版者 | ||||||||||||||
出版者 | 室蘭工業大学SVBL | |||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||
論文ID(NAID) | ||||||||||||||
関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||
識別子タイプ | NAID | |||||||||||||
関連識別子 | 120000802291 | |||||||||||||
日本十進分類法 | ||||||||||||||
主題Scheme | NDC | |||||||||||||
主題 | 549.8 | |||||||||||||
書誌レコードID | ||||||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
収録物識別子 | AA11958246 | |||||||||||||
著者版フラグ | ||||||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
フォーマット | ||||||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
内容記述 | application/pdf |