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  1. 研究者名(五十音順)
  2. 転出・退職・特任研究者(2016-)
  3. 福田 永(FUKUDA Hisashi)
  1. サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報
  2. Vol. 4 (平成14年度)

中性原子発生装置を搭載した次世代半導体プロセス装置の開発

http://hdl.handle.net/10258/411
http://hdl.handle.net/10258/411
e7ac1e68-fa23-49d6-9b8d-dd5383a53ba1
名前 / ファイル ライセンス アクション
H14-74.pdf H14-74.pdf (1.6 MB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2008-03-24
タイトル
タイトル 中性原子発生装置を搭載した次世代半導体プロセス装置の開発
言語 ja
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
著者 福田, 永

× 福田, 永

ja 福田, 永

en FUKUDA, Hisashi

ja-Kana フクダ, ヒサシ


Search repository
室蘭工業大学研究者データベースへのリンク
福田 永(FUKUDA Hisashi)
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_ja.html
書誌情報 ja : サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報

巻 4, p. 74-75, 発行日 2002
出版者
出版者 室蘭工業大学SVBL
言語 ja
論文ID(NAID)
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ NAID
関連識別子 120000802291
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 549.8
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA11958246
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
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Ver.1 2023-06-19 11:41:34.482136
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