WEKO3
アイテム
中性原子発生装置を搭載した次世代半導体プロセス装置の開発
http://hdl.handle.net/10258/411
http://hdl.handle.net/10258/411e7ac1e68-fa23-49d6-9b8d-dd5383a53ba1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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H14-74.pdf (1.6 MB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-03-24 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | 中性原子発生装置を搭載した次世代半導体プロセス装置の開発 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||
| 著者 |
福田, 永
× 福田, 永
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| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||
| 福田 永（FUKUDA Hisashi） | ||||||||||||||
| http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_ja.html | ||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー年報 巻 4, p. 74-75, 発行日 2002 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 室蘭工業大学SVBL | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 論文ID（NAID） | ||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||
| 識別子タイプ | NAID | |||||||||||||
| 関連識別子 | 120000802291 | |||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||
| 主題 | 549.8 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11958246 | |||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||
