| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article.(1) |
| 公開日 |
2012-08-28 |
| 書誌情報 |
ja : 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌
巻 122,
号 2,
p. 145-150,
発行日 2002
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| タイトル |
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タイトル |
高次のサンプリング技法を用いた効果的PIC/MC simulatorの開発 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Developing an Efficient PIC/MC Simulator for RF Plasmas Using Higher Order Sampling |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
PIC/MC simulation |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
粒子モデル |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Legendre Polynomial Weighted Sampling |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
B-spline |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Legendre多項式 |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
高次のサンプリング |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
PIC/MC simulation |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Particle model |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Legendre Polynomial Weighted Sampling |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
B-spline |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Legendre polynomial |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Higher order sampling |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 著者 |
小崎, 元嗣
佐藤, 孝紀
伊達, 広行
伊藤, 秀範
田頭, 博昭
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| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク |
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表示名 |
佐藤 孝紀（SATOH Kohki） |
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URL |
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_ja.html |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
An efficient self-consistent Particle-in-Cell/Monte Carlo (PIC/MC) simulator for rf plasma using higher order sampling technique called Legendre Polynomial Weighted Sampling (LPWS) has been developed in this work. The spatial distributions of charged particles in a discharge space obtained by LPWS show good statistics, as compared with the conventional PIC/MC performed with the same number of super particles. Also, the spatial distribution of electric field in the discharge space calculated from those of the charged particles by solving Poisson’s equation show good statistics, so that instability of simulation caused by the fluctuation of the electric field which readily occurs in a particle model simulation of high density plasma can be inhibited by the developed simulator. Calculation time of the PIC/MC simulator coupled with LPWS is almost the same as that of the conventional PIC/MC simulator. It is found that the results obtained by the developed PIC/MC simulation have a tendency to reach the steady state condition earlier than those by the conventional PIC/MC simulator. |
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言語 |
en |
| 出版者 |
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出版者 |
電気学会 |
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言語 |
ja |
| 論文ID（NAID） |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
NAID |
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関連識別子 |
120004681107 |
| 日本十進分類法 |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
427 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
03854205 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
EISSN |
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収録物識別子 |
13475533 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN10136312 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA12116187 |
| 権利 |
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言語 |
ja |
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権利情報 |
Copyright 2002 電気学会 ダウンロードを含むこの著作物の利用は、著作権法の私的使用及び引用の範囲に限り認められます。その範囲外の利用については、電気学会 の承諾が必要です。 |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
trieejA122_145_2002.pdf (1.8 MB)
