| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article.(1) |
| 公開日 |
2019-08-07 |
| 書誌情報 |
en : Japanese Journal of Applied Physics
巻 58,
号 6,
p. 066003,
発行日 2019-06-05
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| タイトル |
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タイトル |
Dissociative reactions induced by electron impact and electron transport in TEOS vapor |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 著者 |
川口, 悟
HIGUCHI, Hisashi
LI, Hu
髙橋, 一弘
佐藤, 孝紀
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| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク |
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表示名 |
髙橋 一弘（TAKAHASHI Kazuhiro） |
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URL |
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000193_ja.html |
| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク |
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表示名 |
佐藤 孝紀（SATOH Kohki） |
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URL |
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_ja.html |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Reactions for dissociative ionization and neutral dissociation collisions between an electron and a tetraethoxysilane [Si(OC2H5)4, TEOS] molecule are reported, and neutral dissociation cross sections are calculated by applying the classical Rice–Ramsperger–Kassel theory. Detailed electron collision cross section set of TEOS vapor, including 18 neutral dissociation cross sections and 20 ionization cross sections, is constructed. Electron transport coefficients, such as the mean-arrival-time drift velocity, bulk drift velocity, longitudinal bulk diffusion coefficient, and ionization coefficient, and rate coefficients for both elastic and inelastic collisions in TEOS vapor are calculated from the present cross section set using a Monte Carlo method. The validity of the present cross section set is demonstrated by comparing the calculated electron transport coefficients with measured data. Furthermore, fragmentation of TEOS molecules by electron impact is simulated, and then the number of fragments produced in the simulation is compared with the measured mass spectra. |
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言語 |
en |
| 出版者 |
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出版者 |
Japan Society of Applied Physics |
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言語 |
en |
| 出版者版へのリンク |
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表示名 |
10.7567/1347-4065/ab215c |
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URL |
https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab215c |
| DOI |
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関連タイプ |
isVersionOf |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
10.7567/1347-4065/ab215c |
| 日本十進分類法 |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
427 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
0021-4922 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA12295836 |
| 権利 |
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言語 |
en |
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権利情報 |
© 2019 Japan Society of Applied Physics |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
AM |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
JJAP_58_6_066003 (809.6 kB)
