| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article.(1) |
| 公開日 |
2012-08-28 |
| 書誌情報 |
ja : 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌
巻 120,
号 2,
p. 147-153,
発行日 2000
|
| タイトル |
|
|
タイトル |
Legendre多項式およびB-spline関数を用いた電子エネルギー分布関数のHigher Order Sampling |
|
言語 |
ja |
| タイトル |
|
|
タイトル |
Higher order sampling of electron energy distribution function using Legendre polynomial and B-spline function. |
|
言語 |
en |
| 言語 |
|
|
言語 |
jpn |
| キーワード |
|
|
言語 |
ja |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
電子エネルギー分布 |
| キーワード |
|
|
言語 |
ja |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
モンテカルロシミュレーション |
| キーワード |
|
|
言語 |
ja |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
B-スプライン |
| キーワード |
|
|
言語 |
ja |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
ルジャンドル多項式 |
| キーワード |
|
|
言語 |
ja |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
高次のサンプリング |
| キーワード |
|
|
言語 |
ja |
|
主題Scheme |
Other |
|
主題 |
電子速度分布 |
| 資源タイプ |
|
|
資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
|
資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
|
|
アクセス権 |
open access |
|
アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 著者 |
佐藤, 孝紀
本間, 高広
伊藤, 秀範
田頭, 博昭
|
| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク |
|
|
表示名 |
佐藤 孝紀（SATOH Kohki） |
|
URL |
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_ja.html |
| 抄録 |
|
|
内容記述タイプ |
Abstract |
|
内容記述 |
The higher order sampling of electron energy distribution function in Monte Carlo simulation (MCS) using Legendre polynomial and B-spline, called Legendre Polynomial Weighed Sampling (LPWS) developed by Ventzek and Kitamori(J. Appl. Phys., vol. 75, pp. 3785-8, 1994; one dimensional), is extended into two (2D) and three(3D) dimensional LPWS in this work. The spatio-temporal variations of energy and velocity distributions of electrons are respectively obtained by 2D and 3D LPWS. It is found that energy and velocity distributions of electrons obtained here are in excellent agreement with those obtained by conventional sampling method, namely, simple counting of electrons. It is also found that the energy and velocity distributions by LPWS give detailed information of electron behaviour in relaxation process and near electrodes and good statistics with smaller number of electrons sampled and with wider size of bin than the conventional sampling method. |
|
言語 |
en |
| 出版者 |
|
|
出版者 |
電気学会 |
|
言語 |
ja |
| 論文ID（NAID） |
|
|
関連タイプ |
isIdenticalTo |
|
|
識別子タイプ |
NAID |
|
|
関連識別子 |
10005319982 |
| 日本十進分類法 |
|
|
主題Scheme |
NDC |
|
主題 |
427 |
| ISSN |
|
|
収録物識別子タイプ |
PISSN |
|
収録物識別子 |
03854205 |
| ISSN |
|
|
収録物識別子タイプ |
EISSN |
|
収録物識別子 |
13475533 |
| 書誌レコードID |
|
|
収録物識別子タイプ |
NCID |
|
収録物識別子 |
AN10136312 |
| 書誌レコードID |
|
|
収録物識別子タイプ |
NCID |
|
収録物識別子 |
AA12116187 |
| 権利 |
|
|
言語 |
ja |
|
権利情報 |
Copyright 2000 電気学会 ダウンロードを含むこの著作物の利用は、著作権法の私的使用及び引用の範囲に限り認められます。その範囲外の利用については、電気学会 の承諾が必要です。 |
| 著者版フラグ |
|
|
出版タイプ |
VoR |
|
出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| フォーマット |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
application/pdf |
trieejA120_147_2000.pdf (2.4 MB)
