| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2014-07-25 |
| タイトル |
|
|
タイトル |
ガスプラズマによるSi及びSiO2膜のエッチング |
|
言語 |
ja |
| タイトル |
|
|
タイトル |
Gas Plasma Etching of Si and Si02 Films |
|
言語 |
en |
| 言語 |
|
|
言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
|
|
資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
|
資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| アクセス権 |
|
|
アクセス権 |
open access |
|
アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 著者 |
小山, 聡
梶原, 義則
南條, 淳二
野村, 滋
原, 進一
|
| 書誌情報 |
ja : 室蘭工業大学研究報告. 理工編
en : Memoirs of the Muroran Institute of Technology. Science and engineering
巻 9,
号 3,
p. 623-630,
発行日 1978-11-20
|
| 出版者 |
|
|
出版者 |
室蘭工業大学 |
|
言語 |
ja |
| 論文ID（NAID） |
|
|
関連タイプ |
isIdenticalTo |
|
|
識別子タイプ |
NAID |
|
|
関連識別子 |
40003627438 |
| 日本十進分類法 |
|
|
主題Scheme |
NDC |
|
主題 |
541 |
| ISSN |
|
|
収録物識別子タイプ |
PISSN |
|
収録物識別子 |
05802415 |
| 書誌レコードID |
|
|
収録物識別子タイプ |
NCID |
|
収録物識別子 |
AN00238225 |
| 著者版フラグ |
|
|
出版タイプ |
VoR |
|
出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| フォーマット |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
application/pdf |
r9-3_623.pdf (272.0 kB)
