WEKO3
アイテム
次世代高性能シリコンデバイス製造に向けた新規プロセスの研究開発(平成24年度)
http://hdl.handle.net/10258/00009041
http://hdl.handle.net/10258/000090412d9b0b5c-3e13-4e23-b977-0a4c76d4e703
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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No24-ken_4-6.pdf (475.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2016-11-21 | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 次世代高性能シリコンデバイス製造に向けた新規プロセスの研究開発(平成24年度) | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
福田, 永
× 福田, 永
× 植杉, 克弘
× 城, 尚志
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| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 福田 永（FUKUDA Hisashi） | ||||||||||||||||||||||||||||||
| http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_ja.html | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 植杉 克弘（UESUGI Katsuhiro） | ||||||||||||||||||||||||||||||
| http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000144_ja.html | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告 巻 24, p. 4-6, 発行日 2014-02 |
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| 注記 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 共同研究プロジェクト成果 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 室蘭工業大学地域共同研究開発センター | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| 論文ID（NAID） | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | NAID | |||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | 40020050598 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 549.8 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10363915 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 権利 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | © 2014 室蘭工業大学地域共同研究開発センター | |||||||||||||||||||||||||||||
| 参考URL | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/report.html | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主となる版 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/pdf/No24-ken.pdf | |||||||||||||||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||||||||||||||
