WEKO3
アイテム
{"_buckets": {"deposit": "8ac0995e-5ac2-4725-9f28-97ba856c6c82"}, "_deposit": {"created_by": 18, "id": "9121", "owners": [18], "pid": {"revision_id": 0, "type": "depid", "value": "9121"}, "status": "published"}, "_oai": {"id": "oai:muroran-it.repo.nii.ac.jp:00009121", "sets": ["416", "412", "273", "236"]}, "author_link": ["53696", "53939", "9585", "10083"], "item_77_biblio_info_10": {"attribute_name": "書誌情報", "attribute_value_mlt": [{"bibliographicIssueDates": {"bibliographicIssueDate": "2009-12", "bibliographicIssueDateType": "Issued"}, "bibliographicPageEnd": "10", "bibliographicPageStart": "6", "bibliographicVolumeNumber": "20", "bibliographic_titles": [{"bibliographic_title": "室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告", "bibliographic_titleLang": "ja"}]}]}, "item_77_description_23": {"attribute_name": "フォーマット", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "application/pdf", "subitem_description_type": "Other"}]}, "item_77_description_8": {"attribute_name": "注記", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "平成20年度共同研究プロジェクト成果", "subitem_description_language": "ja", "subitem_description_type": "Other"}]}, "item_77_link_5": {"attribute_name": "室蘭工業大学研究者データベースへのリンク", "attribute_value_mlt": [{"subitem_link_text": "福田 永(FUKUDA Hisashi)", "subitem_link_url": "http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_ja.html"}, {"subitem_link_text": "佐藤 孝紀(SATOH Kohki)", "subitem_link_url": "http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_ja.html"}, {"subitem_link_text": "植杉 克弘(UESUGI Katsuhiro)", "subitem_link_url": "http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000144_ja.html"}]}, "item_77_link_6": {"attribute_name": "Link to Muroran Inst. Tech. Database of Researchers", "attribute_value_mlt": [{"subitem_link_text": "FUKUDA Hisashi(福田 永)", "subitem_link_url": "http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_en.html"}, {"subitem_link_text": "SATOH Kohki(佐藤 孝紀)", "subitem_link_url": "http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_en.html"}, {"subitem_link_text": "UESUGI Katsuhiro(植杉 克弘)", "subitem_link_url": "http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000144_en.html"}]}, "item_77_publisher_11": {"attribute_name": "出版者", "attribute_value_mlt": [{"subitem_publisher": "室蘭工業大学地域共同研究開発センター", "subitem_publisher_language": "ja"}]}, "item_77_relation_15": {"attribute_name": "論文ID(NAID)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_relation_type": "isIdenticalTo", "subitem_relation_type_id": {"subitem_relation_type_id_text": "40017012776", "subitem_relation_type_select": "NAID"}}]}, "item_77_relation_20": {"attribute_name": "参考URL", "attribute_value_mlt": [{"subitem_relation_type_id": {"subitem_relation_type_id_text": "http://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/books.html", "subitem_relation_type_select": "URI"}}]}, "item_77_relation_22": {"attribute_name": "主となる版", "attribute_value_mlt": [{"subitem_relation_type": "isVersionOf", "subitem_relation_type_id": {"subitem_relation_type_id_text": "http://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/pdf/No20-ken.pdf", "subitem_relation_type_select": "URI"}}]}, "item_77_rights_19": {"attribute_name": "権利", "attribute_value_mlt": [{"subitem_rights": "© 2009 室蘭工業大学地域共同研究開発センター", "subitem_rights_language": "ja"}]}, "item_77_source_id_14": {"attribute_name": "書誌レコードID", "attribute_value_mlt": [{"subitem_source_identifier": "AN10363915", "subitem_source_identifier_type": "NCID"}]}, "item_77_subject_9": {"attribute_name": "日本十進分類法", "attribute_value_mlt": [{"subitem_subject": "427.6", "subitem_subject_scheme": "NDC"}]}, "item_77_text_4": {"attribute_name": "著者ID(非表示)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "1000010261380@@@1000050235339@@@1000070261352"}]}, "item_77_version_type_21": {"attribute_name": "著者版フラグ", "attribute_value_mlt": [{"subitem_version_resource": "http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85", "subitem_version_type": "VoR"}]}, "item_access_right": {"attribute_name": "アクセス権", "attribute_value_mlt": [{"subitem_access_right": "open access", "subitem_access_right_uri": "http://purl.org/coar/access_right/c_abf2"}]}, "item_creator": {"attribute_name": "著者", "attribute_type": "creator", "attribute_value_mlt": [{"creatorAffiliations": [{"affiliationNameIdentifiers": [], "affiliationNames": [{"affiliationName": "", "affiliationNameLang": "ja"}]}], "creatorNames": [{"creatorName": "福田, 永", "creatorNameLang": "ja"}, {"creatorName": "FUKUDA, Hisashi", "creatorNameLang": "en"}, {"creatorName": "フクダ, ヒサシ", "creatorNameLang": "ja-Kana"}], "familyNames": [{"familyName": "福田", "familyNameLang": "ja"}, {"familyName": "FUKUDA", "familyNameLang": "en"}, {"familyName": "フクダ", "familyNameLang": "ja-Kana"}], "givenNames": [{"givenName": " 永", "givenNameLang": "ja"}, {"givenName": "Hisashi", "givenNameLang": "en"}, {"givenName": "ヒサシ", "givenNameLang": "ja-Kana"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "10083", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}, {"nameIdentifier": "1000010261380", "nameIdentifierScheme": "NRID", "nameIdentifierURI": "https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010261380"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "平尾, 孝", "creatorNameLang": "ja"}, {"creatorName": "HIRAO, Takashi", "creatorNameLang": "en"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "53939", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorAffiliations": [{"affiliationNameIdentifiers": [{"affiliationNameIdentifier": "10103", "affiliationNameIdentifierScheme": "kakenhi"}], "affiliationNames": [{"affiliationName": "室蘭工業大学", "affiliationNameLang": "ja"}, {"affiliationName": "Muroran Institute of Technology", "affiliationNameLang": "en"}]}], "creatorNames": [{"creatorName": "佐藤, 孝紀", "creatorNameLang": "ja"}, {"creatorName": "サトウ, コウキ", "creatorNameLang": "ja-Kana"}, {"creatorName": "SATOH, Kohki", "creatorNameLang": "en"}], "familyNames": [{"familyName": "佐藤", "familyNameLang": "ja"}, {"familyName": "サトウ", "familyNameLang": "ja-Kana"}, {"familyName": "SATOH", "familyNameLang": "en"}], "givenNames": [{"givenName": " 孝紀", "givenNameLang": "ja"}, {"givenName": "コウキ", "givenNameLang": "ja-Kana"}, {"givenName": "Kohki", "givenNameLang": "en"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "9585", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}, {"nameIdentifier": "1000050235339", "nameIdentifierScheme": "NRID", "nameIdentifierURI": "https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050235339"}]}, {"creatorAffiliations": [{"affiliationNameIdentifiers": [{"affiliationNameIdentifier": "10103", "affiliationNameIdentifierScheme": "kakenhi"}], "affiliationNames": [{"affiliationName": "室蘭工業大学", "affiliationNameLang": "ja"}, {"affiliationName": "Muroran Institute of Technology", "affiliationNameLang": "en"}]}], "creatorNames": [{"creatorName": "植杉, 克弘", "creatorNameLang": "ja"}, {"creatorName": "ウエスギ, カツヒロ", "creatorNameLang": "ja-Kana"}, {"creatorName": "UESUGI, Katsuhiro", "creatorNameLang": "en"}], "familyNames": [{"familyName": "植杉", "familyNameLang": "ja"}, {"familyName": "ウエスギ", "familyNameLang": "ja-Kana"}, {"familyName": "UESUGI", "familyNameLang": "en"}], "givenNames": [{"givenName": "克弘", "givenNameLang": "ja"}, {"givenName": "カツヒロ", "givenNameLang": "ja-Kana"}, {"givenName": "Katsuhiro", "givenNameLang": "en"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "53696", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}, {"nameIdentifier": "1000070261352", "nameIdentifierScheme": "NRID", "nameIdentifierURI": "https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070261352"}]}]}, "item_files": {"attribute_name": "ファイル情報", "attribute_type": "file", "attribute_value_mlt": [{"accessrole": "open_access", "displaytype": "detail", "download_preview_message": "", "file_order": 0, "filename": "No20-ken_6-10.pdf", "filesize": [{"value": "711.5 kB"}], "format": "application/pdf", "future_date_message": "", "is_thumbnail": false, "licensetype": "license_note", "mimetype": "application/pdf", "size": 711500.0, "url": {"objectType": "fulltext", "url": "https://muroran-it.repo.nii.ac.jp/record/9121/files/No20-ken_6-10.pdf"}, "version_id": "d61a8b58-a65e-40c3-9801-e272ea6f3d33"}]}, "item_language": {"attribute_name": "言語", "attribute_value_mlt": [{"subitem_language": "jpn"}]}, "item_resource_type": {"attribute_name": "資源タイプ", "attribute_value_mlt": [{"resourcetype": "departmental bulletin paper", "resourceuri": "http://purl.org/coar/resource_type/c_6501"}]}, "item_title": "高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究", "item_titles": {"attribute_name": "タイトル", "attribute_value_mlt": [{"subitem_title": "高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究", "subitem_title_language": "ja"}, {"subitem_title": "Development of high density plasma apparatus and its application to next generation thin film formation technology", "subitem_title_language": "en"}]}, "item_type_id": "77", "owner": "18", "path": ["416", "412", "273", "236"], "permalink_uri": "http://hdl.handle.net/10258/00009097", "pubdate": {"attribute_name": "PubDate", "attribute_value": "2016-12-06"}, "publish_date": "2016-12-06", "publish_status": "0", "recid": "9121", "relation": {}, "relation_version_is_last": true, "title": ["高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究"], "weko_shared_id": -1}
高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究
http://hdl.handle.net/10258/00009097
http://hdl.handle.net/10258/00009097887d24bb-687e-4b4b-9bf5-ae21cf631437
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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![]() |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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公開日 | 2016-12-06 | |||||||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||||||
タイトル | 高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究 | |||||||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||||||
言語 | en | |||||||||||||||||
タイトル | Development of high density plasma apparatus and its application to next generation thin film formation technology | |||||||||||||||||
言語 | ||||||||||||||||||
言語 | jpn | |||||||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
アクセス権 | ||||||||||||||||||
アクセス権 | open access | |||||||||||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||
著者 |
福田, 永
× 福田, 永× 平尾, 孝× 佐藤, 孝紀
WEKO
9585
× 植杉, 克弘
WEKO
53696
|
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室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||
福田 永(FUKUDA Hisashi) | ||||||||||||||||||
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_ja.html | ||||||||||||||||||
室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||
佐藤 孝紀(SATOH Kohki) | ||||||||||||||||||
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_ja.html | ||||||||||||||||||
室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||
植杉 克弘(UESUGI Katsuhiro) | ||||||||||||||||||
http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000144_ja.html | ||||||||||||||||||
書誌情報 |
ja : 室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告 巻 20, p. 6-10, 発行日 2009-12 |
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注記 | ||||||||||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
内容記述 | 平成20年度共同研究プロジェクト成果 | |||||||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||||||
出版者 | ||||||||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||||||
出版者 | 室蘭工業大学地域共同研究開発センター | |||||||||||||||||
論文ID(NAID) | ||||||||||||||||||
関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||
識別子タイプ | NAID | |||||||||||||||||
関連識別子 | 40017012776 | |||||||||||||||||
日本十進分類法 | ||||||||||||||||||
主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||
主題 | 427.6 | |||||||||||||||||
書誌レコードID | ||||||||||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
収録物識別子 | AN10363915 | |||||||||||||||||
権利 | ||||||||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||||||
権利情報 | © 2009 室蘭工業大学地域共同研究開発センター | |||||||||||||||||
参考URL | ||||||||||||||||||
識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||
関連識別子 | http://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/books.html | |||||||||||||||||
著者版フラグ | ||||||||||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
主となる版 | ||||||||||||||||||
関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||
識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||
関連識別子 | http://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/pdf/No20-ken.pdf | |||||||||||||||||
フォーマット | ||||||||||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
内容記述 | application/pdf |