WEKO3
アイテム
高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究
http://hdl.handle.net/10258/00009097
http://hdl.handle.net/10258/00009097887d24bb-687e-4b4b-9bf5-ae21cf631437
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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No20-ken_6-10.pdf (711.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2016-12-06 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | 高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Development of high density plasma apparatus and its application to next generation thin film formation technology | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||
| 著者 |
福田, 永
× 福田, 永× 平尾, 孝× 佐藤, 孝紀
WEKO
9585
× 植杉, 克弘
WEKO
53696
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| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||
| 表示名 | 福田 永（FUKUDA Hisashi） | |||||||||||||||||
| URL | http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000255_ja.html | |||||||||||||||||
| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||
| 表示名 | 佐藤 孝紀（SATOH Kohki） | |||||||||||||||||
| URL | http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000024_ja.html | |||||||||||||||||
| 室蘭工業大学研究者データベースへのリンク | ||||||||||||||||||
| 表示名 | 植杉 克弘（UESUGI Katsuhiro） | |||||||||||||||||
| URL | http://rdsoran.muroran-it.ac.jp/html/100000144_ja.html | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告 巻 20, p. 6-10, 発行日 2009-12 |
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| 注記 | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | 平成20年度共同研究プロジェクト成果 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 室蘭工業大学地域共同研究開発センター | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 論文ID（NAID） | ||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||
| 識別子タイプ | NAID | |||||||||||||||||
| 関連識別子 | 40017012776 | |||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||
| 主題 | 427.6 | |||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10363915 | |||||||||||||||||
| 権利 | ||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 権利情報 | © 2009 室蘭工業大学地域共同研究開発センター | |||||||||||||||||
| 参考URL | ||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||
| 関連識別子 | http://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/books.html | |||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
| 主となる版 | ||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||
| 関連識別子 | http://www.muroran-it.ac.jp/crd/books/pdf/No20-ken.pdf | |||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||
